單位 |
(碳化硅) |
(氮化硅) |
黑色防靜電氧化鋯 |
淡黃色防靜電氧化鋯 |
黑色防靜電多孔陶瓷 |
土黃多孔陶瓷 | ||||
編號 | SC01 | SC02 | SN01 | SN02 | ZYAB01 | ZYAY01 | ABAP01 | ABAP02 | AYP01 | |
材料成分 |
% |
SiC 99.5% |
SiC 99.5% |
Si3N4 99.5% |
Si3N4 99.9% |
/ | / | / | / | / |
顏色 |
黑色 | 黑色 | 黑色 | 黑色 | 黑色 | 淡黃色 | 黑色 | 黑色 | 土黃色 | |
(密度) |
g/cm3 | 3.12 | 3.14 | 3.2 | 3.2 | 5.9 | 5.9 | 2.2 | 2.3 | 2.1 |
抗彎強度 | Mpa | 400 | 450 | 850 | 980 | 400 | 400 | 30 | 30 | 25 |
抗壓強度 | Mpa | 1900 | 2000 | 3000 | 3800 | / | / | / | / | / |
楊氏彈性模量 | GPa | 430 | 440 | 290 | 300 | / | / | / | / | / |
斷裂韌性 | MPam1/2 | 3 | 4 | 6 | 7 | / | / | / | / | / |
泊松比 | 0.17 | 0.16 | 0.28 | 0.28 | / | / | / | / | / | |
維氏硬度 | HV1 | 2600 | 2600 | 1390 | 1450 | / | / | / | / | / |
熱膨脹系數 | 10-6K-1 | 4 | 4 | 3.3 | 3.3 | / | / | 6 | 6 | 6 |
Thermal Conductivity (導熱系數) |
W/(m.k) | 120 | 140 | 23 | 27 | / | / | 5 | 5 | 5 |
抗熱震性 | ℃ | 400 | 400 | 600 | 800 | / | / | / | / | / |
最高使用溫度 |
℃ | 1600 | 1600 | 1300 | 1300 | 200 | 200 | 20~30℃ | 20~30℃ | 20~30℃ |
20℃體積電阻 | ??Ω.cm | 10^6 | 10^6 | 10^14 | 10^14 | 10^6至10^9 | 10^6至10^9,更高更低都可以調整 | 10^6至10^9,更高更低都可以調整 | 10^6至10^9,更高更低都可以調整 | 10^6至10^9,更高更低都可以調整 |
絕緣強度 | kV/mm | / | / | 13 | 15 | / | / | / | / | / |
介電常數 |
/ | / | 9 | 9 | / | / | / | / | / | |
20℃,兆赫介質損耗角 | 10-4 | / | / | 18 | 19 | / | / | / | / | / |
硝酸 Acid(60%)90℃,24h |
WT Loss mg/cm2 |
0 | 0 | 0.85 | 0.56 | / | / | / | / | / |
硫酸 (95%)95℃,24h |
0 | 0 | 0 | 0 | / | / | / | / | / | |
氫氧化鈉 (30%)80℃,24h |
0 | 0 | 0.23 | 0.22 | / | / | / | / | / | |
透氣率K | m3/(h*m2*KPa) | 60-120 | 120-180 | 60-120 |
熱膨脹系數小
耐熱沖擊性較好
化學性能穩定
耐磨耗,耐腐蝕性優良
優良的機械強度與耐高溫性
酸性氣體環境中高溫加熱到1200度仍可安定使用